Chemshunplacă de lustruire a napolitanelor de aluminăMasa rotativă este fabricată din alumină de înaltă puritate 99,7-99,9%. Ceramica de alumină de înaltă puritate prezintă o rigiditate remarcabilă și o rezistență excelentă la uzură pentru lustruirea napolitanelor și menține o formă bună a suprafeței pe o perioadă lungă de timp. Este modelată prin PIBM. Face parte din industria semiconductorilor datorită stabilității sale termice și dimensionale de neegalat și rezistenței la medii severe de procesare a microcipurilor.
Planarizarea chimico-mecanică (CMP), cunoscută și sub denumirea de lustruire chimico-mecanică, este o tehnologie din procesul de fabricație a dispozitivelor semiconductoare. Aceasta utilizează coroziunea chimică și forțele mecanice pentru a aplatiza napolitanele de siliciu sau alte materiale de substrat în timpul procesării.
Echipamentul CMP este împărțit în principal în două părți: partea de lustruire și partea de curățare. Partea de lustruire este formată din 4 părți, și anume 3 mese rotative de lustruire și un modul de încărcare și descărcare a plachetelor. Partea de curățare este responsabilă de curățarea și uscarea plachetei pentru a realiza „uscarea prin încorporare și descărcare” a acesteia. În întregul echipament de lustruire, ceramica de alumină joacă un rol important.
Ceramica din alumină este de obicei utilizată pentru prepararea discurilor de lustruire a napolitanelor, care necesită o puritate ridicată, o durabilitate chimică ridicată și un bun control al formei și rugozității suprafeței.
Discul de șlefuire ceramic Chemshun 99,7% Al2O3 este fabricat din materiale ceramice avansate, fiind potrivit pentru șlefuirea fină a diferitelor materiale, în special pentru șlefuirea materialelor fragile, cum ar fi napolitane, ceramică și sticlă. Discul nostru de șlefuire ceramic poate fi fabricat în diferite dimensiuni, în funcție de diferitele modele de șlefuire și lustruire.
Data publicării: 30 mai 2025