Odată cu dezvoltarea rapidă a industriei semiconductorilor, amploarea industriei a crescut rapid, iar echipamentele de fabricație a semiconductorilor au continuat să evolueze spre precizie și complexitate. Deoarece ceramica are avantajele unei durități ridicate, a unui modul de elasticitate ridicat, a unei rezistențe ridicate la uzură, a unei izolații ridicate, a rezistenței la coroziune, a unei dilatații reduse etc., aceasta poate fi utilizată ca parte a mașinilor de lustruit siliciu, a echipamentelor de tratament termic epitaxial/oxidare/difuzie, a mașinilor de litografie, a echipamentelor de depunere, a echipamentelor de gravare a semiconductorilor, a mașinilor de implantare ionică și a altor echipamente, astfel încât cercetarea, dezvoltarea și producția de piese ceramice de precizie afectează direct dezvoltarea industriei semiconductorilor. Cerințele tehnice pentru prepararea lor devin din ce în ce mai mari.
Alumină de înaltă puritate, 99,7%-99,9% alumină.
Rezistență mecanică ridicată, rezistență ridicată la uzură, izolație electrică ridicată, stabilitate chimică ridicată, rezistență bună la căldură și la coroziune. În prezent, utilizarea discului de șlefuire ceramică pentru șlefuirea plachetelor de siliciu semiconductoare este cea mai superioară și de ultimă generație metodă de șlefuire. Procesul de șlefuire pe ambele fețe este utilizat pentru șlefuirea plachetei de siliciu tăiate, iar calitatea plachetei de șlefuire este îmbunătățită prin îmbunătățirea procesului de șlefuire (materialul discului, fluidul de șlefuire, presiunea de șlefuire și viteza de șlefuire etc.). În special, utilizarea plăcilor ceramice în loc de plăci din fontă, pentru a evita șlefuirea pe suprafața principală a plachetei cauzată de cicatrici sau poluare, reduce introducerea de ioni metalici, poate reduce procesarea ulterioară a siliciului, scurtează timpul de procesare ulterioară (coroziune), îmbunătățește eficiența producției și reduce pierderile din procesarea siliciului, îmbunătățind considerabil utilizarea siliciului.
Placă de lustruire a napolitanelor cu conținut ridicat de aluminăeste utilizată în industria semiconductorilor, petrolului, chimiei, fotovoltaice, a cristalelor lichide și în alte industrii, cum ar fi piese mecanice, piese electronice, discuri de inducție cu microunde, materiale izolatoare și alte piese, dispozitive semiconductoare, echipamente de vid, echipamente de fabricație a cristalelor lichide și alte piese. Ceramica de alumină de dimensiuni mari și de înaltă puritate are o valoare aplicativă importantă în industria safirului și a cipurilor semiconductoare. Este un suport și un consumabil cheie pentru lustruirea chimico-mecanică (CMP) a napolitanelor de siliciu din safir și semiconductori. Ceramica de alumină de dimensiuni mari și de înaltă puritate poate fi utilizată și ca substrat de alumină pentru LCD.
Data publicării: 27 iunie 2024